2018年4月中旬,“2018中国半导体市场年会暨第七届集成电路产业创新大会”在江苏南京举行。会上揭晓了第十二届(2017年度)中国半导体创新产品和技术项目的奖项归属,由北方华创科技集团股份有限公司下属企业“北京七星华创流量计有限公司”研制的“七星 US700 流量计”斩获这一奖项。
北京七星华创流量计有限公司是北京北方华创微电子装备有限公司下属业务单元,是目前处于国内行业领先水平的气体质量流量控制器研制生产厂商,其先后推出了模拟和数字气体质量流量控制器,有关产品广泛应用于集成电路、光伏、分析仪器、生物医药等领域。此次获得半导体创新产品和技术项目奖的“七星 US700 流量计”是七星华创流量计有限公司最新研制的数字产品,具有控制精度高、低工作压差等特性,适合于半导体离子注入工艺及其他相关集成电路制造工艺。值得一提的是,US700流量计也填补了国内在数字低压差产品领域的技术空白,其性能指标达到国际先进水平。