2019年7月31日，上海市科委科学仪器方法研究科研项目《扫描电子显微镜及能谱仪无损检测微纳米尺度金属镀层厚度共享配套操作方法与应用研究》(项目编号16142202500)验收会议在上海计量院召开。与会专家听取了项目组的汇报，审阅了项目组提供的验收资料，经质询和讨论，专家组认为该项目组完成了项目任务书规定的研究内容，达到了考核指标，一致同意项目通过验收。

该项目以微纳米尺度金(Au)镀层和铑(Rh)镀层材料为对象，利用扫描电镜及能谱仪和蒙特卡洛模拟，建立了能谱法测试结果与元素特征X射线深度分布曲线之间的关系。镀层厚度能谱法检测结果与扫描电镜法测量结果的误差不大于±10%，并提供了常见贵金属镀层厚度分析范围。

本项目制定的扫描电子显微镜及能谱仪无损检测微纳米尺度金属镀层厚度共享配套操作方法避免了传统微纳米金属尺度镀层厚度测试的弊端，可以快速、准确、无损地进行贵金属镀层厚度分析，为我国集成电路、贵金属饰品等产业的发展提供技术依据。

经中国科学院上海科技查新咨询中心检索，该项目具有新颖性，综合技术达到国际先进水平。

(原文标题：《扫描电子显微镜及能谱仪无损检测微纳米尺度金属镀层厚度共享配套操作方法与应用研究》项目通过验收)